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Mikrolithographie nach Kundenwunsch

Wenn Sie mit einer Aufgabenstellung oder einem Problem zu uns kommen, hören wir genau zu und beraten Sie dann, wie wir dies lösen könnten. Dabei haben wir unseren vorhandenen Maschinenpark im Hinterkopf und überlegen, welche unserer Maschinen hierbei welche Arbeit am besten verrichten könnte.
Bei besonders innovativen Anforderungen von Ihrer Seite kann es auch sein, dass wir sagen: Dafür müsste man eigentlich ein Gerät modifizieren oder weiter verbessern oder eventuell sogar ein neues Verfahren erforschen. Wir geben zu, dass uns eine solche Aufgabe besonders reizen würde.
Bei der Entwicklung einer Technologie nach Kundenwunsch können wir Ihnen einen Lösungsvorschlag inkl. der finanziellen Einschätzung machen, so dass Sie beurteilen können, ob die Entwicklung für Sie ökonomisch wäre.
Aktuell haben wir dafür die folgenden  Anlagen in Betrieb.

Beschichtung

Beschichtung

Elektronenlithographie

Elektronenlithographie

Inspektion

Inspektion

Kontrolltechnik

Kontrolltechnik

Laserlithographie

Laserlithographie

Nassprozesse

Nassprozesse

Belichtungstechnik:

Wir verfügen über ein Laser-Lithographiesystem DLW 66 von Heidelberg Instruments sowie
ein Elektronen-Lithographiesystem RAITH 150 TWO der Raith GmbH Dortmund. Darüber hinaus haben wir weitere Belichtungsgeräte für spezifische Kundenanforderungen entwickelt.

Schichterzeugung:

Es steht eine Sputteranlage für Chrom zur Verfügung sowie Spincoater für verschiedene Resists bereit.

Nassprozesse:

Für Resistentwicklung, Schichtätzung und Reinigung sind zwei ARIAS-Nassbänke installiert.

Mess- und Kontrolltechnik:

Neben den obligatorischen Inspektionsmikroskopen verfügen wir über ein COMEF-Strukturbreiten-
Messmikroskop, zwei  x-y-z-Positionsmessgerät der Werth-Messtechnik GmbH sowie über Möglichkeitender spektralphotometrischen und taktilen Schichtdickenmessung.

ML Service GmbH: Mikrolithographie für die optische Industrie, Medizintechnik, Messtechnik

Von der persönlichen Beratung über die Planung bis hin zur termingerechten Fertigung Ihrer Produkte sind wir gern für Sie da.
Kontaktieren Sie uns einfach:

 

036427 - 20899
info@mlservice-gmbh.de